与其他气体相比，稀有气体都是单原子分子，这是它们的一个特点，也是由于它们的“惰性”所决定的。尽管如此，按照元素周期表的规律，自上而下，随着原子序数的递增，它们相互间的惰性也是有差异的。当然，从总体上说，稀有气体还是属于化学性质极不活泼的一类气体。

    稀有气体因其在自然界中量少而得名，主要包括氦气(He)、氖气(Ne)、氩气(Ar)、氪气(Kr)、氙气(Xe)、氡气(Rn)六种气体，其中氡是放射性元素，故除了作为科研测漏之外，工业生产中尚未得到广泛的应用。稀有气体是元素周期表中的第八族元素(或零族)，原子最外层轨道上已被电子充满，结构稳定，通常不与其他物质反应，性质不活泼，故称为惰性气体。

    氦气在电光源中的主要用途如下：

    1、与其它惰性气体混合用于大功率荧光灯中;

    2、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线(58.4nm)

    氦在电光源中的应用

    电子工业中，氦气的应用是半导体器件的生产。起始材料，超纯半导体的单晶体，如硅和锗共熔体生长的过程利用氦既用为保护气又作为传热介质。只有非常纯的惰性气体(一般要求纯度为99.999%~99.99999%)才可以保证极高的晶体纯度。惰性气体氦还用做掺杂气(如砷化氢和磷化氢)的稀释气和载气，掺杂气在半导体器中用来生成N结和P结。

    在某些高压电子管转换开关和调整管中也要用到氦。氦-氩混合气在电子元件封装等工艺过程所需的微件焊接中用做保护气。用氦气作半导体生产过程的运载气体，可以安全地将挥发性物质或气体混合物从发生源输送到扩散炉管或反应器的工作室。